Das glaube ich nicht
In der Mikrostrukturtechnik beschränken sich die Wissenschaftler schon lange nicht mehr auf den Elektronik-Werkstoff Silizium. Miniaturisierte Sensoren und Stellmechaniken lassen sich inzwischen auch aus Kunststoffen, Metallen, Gläsern und Keramiken herstellen. Ganz oben auf der Wunschliste stehen Mikrostrukturen aus Diamant – doch die gab es bisher nicht, denn im Gegensatz zu Silizium lassen sich selbst dünne Schichten aus polykristallinem Diamant mit konventionellen Ätztechniken nur schwer in Form bringen. Das hat jetzt ein Ende: Prof. Mohammad Aslam und seine Mitarbeiter an der Michigan State University in East Lansing haben ein Verfahren entwickelt, bei dem sie die Mikrostrukturen gleich vorgeformt ziehen, statt sie umständlich nachzuarbeiten.
Sie vermischen Diamantstaub mit einem Fotolack und tragen ihn auf eine mit Chrom überzogene Unterlage aus Silizium auf. Diese Schicht läßt sich mit den aus der Mikroelektronik bekannten optischen Lithografieverfahren in die gewünschte Form bringen.
Die Flächen, die nicht mehr mit Fotolack bedeckt sind, werden mit Chrom gefüllt, so daß eine Schablone entsteht. Danach wird der Fotolack bei 900 Grad Celsius im Ofen verdampft. Zurück bleibt der Diamantstaub, der als Kristallisationskeim für eine vier bis sechs Mikrometer dicke Schicht aus polykristallinem Diamant dient. Zuletzt wird die Schablone aus Chrom entfernt – fertig ist die Diamantstruktur.
Die edle Schicht trotzt allen chemischen und thermischen Belastungen und kann unter härtesten Bedingungen – zum Beispiel im Abgasstrom von Motoren oder Triebwerken – ihren Dienst tun.
Frank Krull
