Wahrig Wissenschaftslexikon Katodenzerstäubung - wissenschaft.de

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Wahrig Wissenschaftslexikon

Katodenzerstäubung

Ka|to|den|zer|stäu|bung 〈f. 20〉 Form der Materialbearbeitung, bei der ein Material durch Hochspannung an einer Katode zerstäubt wird u. in feinen Schichten auf einem als Anode geschalteten Material niedergeschlagen wird; oV Kathodenzerstäubung

1. Januar 2013

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