Wahrig Wissenschaftslexikon sputtern - wissenschaft.de

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Wahrig Wissenschaftslexikon

sputtern

sput|tern 〈[spt–] V. t.; hat; Tech.〉 Oberflächenmaterial eines Festkörpers durch Ionenbestrahlung zerstäuben, abspalten [zu engl. sputter; eigtl. ”zischen, brutzeln“] 1. Januar 2013

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